研究方向  :  1.集成电路工艺路线整合；2.低维材料集成电子学；3.精细微纳加工工艺开发

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研究方向  :  1. CMOS工艺优化与整合2. 集成电路智能制造3. 硅光器件工艺开发

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研究方向  :  1、CMOS平台硅光器件设计和工艺开发2、半导体光电子集成器件研究

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研究方向  :  1、先进工艺CMOS器件性能优化2、耐高压LDMOS器件3、低维材料新型半导体器件

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